相對解決方法：1、提高蝕刻溫度對工藝規(guī)定范圍；2、適當延長蝕刻時間，在蝕刻前應(yīng)通過實驗測定蝕刻速度，并以此來確定正確的蝕刻時間；3、腐蝕液在蝕刻過程中消耗大，成分變化快，為保證蝕刻速度的穩(wěn)定，必須要經(jīng)常對蝕刻液進行分析，批量生產(chǎn)應(yīng)每天分析一次或一次以上，并根據(jù)分析結(jié)果及時補充到工藝規(guī)定范圍。